6月13日晚间，微导纳米发布公告称，近日公司与浙江国康新能源科技有限公司签署了TOPCon电池设备销售合同，合同金额总计约为人民币4.41亿元(含税)。

长江商报记者注意到，微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产。根据公开的市场数据统计，公司ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。截至2022年底，公司在手光伏设备订单19.67亿元，2023年1月初至2022年年度报告披露日，新增光伏设备订单20.16亿元。

当前，公司正在推进实施TOPCon2.0整线工艺技术及半导体领域研发。为此，公司保持了较高的研发投入力度。2022年，公司投入研发费用1.38亿元，研发费率达20.22%。

再揽4.41亿元大单

6月13日晚间，微导纳米发布公告称，公司近日与浙江国康新能源科技有限公司签署了TOPCon电池设备销售合同，向后者提供包括但不限于ALD设备、PEALD设备、PECVD设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，合同金额总计约为人民币4.41亿元。

根据公告，设备交付为2023年6月30日，第一台设备进厂，后续按照双方约定陆续交付。

微导纳米表示，本次交易对手方是公司首次合作客户，合同的签订标志着公司客户拓展和TOPCon电池工艺整线技术的市场推广取得了积极成效，有助于加强公司新型高效电池工艺整线设备供应商的业务定位和布局，提高公司市场竞争力。

长江商报记者注意到，根据2022年年报，当前随着N型技术的成熟，TOPCon、HJT等电池片新技术不断涌现，针对TOPCon电池，微导纳米创新性的把ALD技术应用于氧化硅层的制备，开发出了PEALD二合一平台设备，可连续完成TOPCon电池的背膜结构镀膜，并可以获得超薄(lt;2nm)、大面积均匀性、致密性好、无针孔的高质量隧穿层。lt;gt;

2022年，由微导纳米开发的行业内首条GW级TOPCon工艺整线项目已经取得客户的验收，实现产业化应用，并快速放量逐步成为行业主流电池技术。随着公司与行业多家头部客户共同合作的TOPCon新型高效电池生产线实现规模化的量产，TOPCon产能率先放量，下游客户扩产计划加速。

研发费率保持高位

公开资料显示，微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。2022年，公司光伏设备业务营收达到5.01亿元，营收占比73.18%。

财务数据显示，公司2022年实现营收6.8亿元，同比增长约60%；实现净利润5415万元，同比增长17.4%。2023年一季度，其实现营收7577万元，同比下滑43%，净利润亏损108.9万元。

公司表示，2023年一季度，营收下降的主要原因是公司的专用设备产品从发货到验收周期较长，而2022年上半年受到江浙沪地区疫情影响，公司2022年的设备产品发货交付主要集中在下半年，导致今年一季度确认收入较少。同时投入较多研发费用，导致净利润出现微亏。

今年来，公司订单加速增长。截至2022年底，微导纳米在手专用设备订单22.93亿元，其中光伏设备订单19.67亿元，半导体设备订单2.57亿元，其他设备订单6881万元。2023年1月初至2022年年度报告披露日，公司新增专用设备订单22.74亿元，其中新增半导体设备订单2.42亿元，新增光伏设备订单20.16亿元，新增其他设备订单1580万元。

6月14日，微导纳米在投资者互动平台表示，公司开发的GW级TOPCon工艺整线已于2022年度获得客户的验收，效率、良率等关键技术要求表现突出，带动和引领了行业内TOPCon电池的量产导入。当前，公司正在推进实施TOPCon2.0整线工艺技术，持续推动N型TOPCon技术的发展。

2022年，公司研发费用1.38亿元，同比增长42.62%，研发费率为20.22%。其中，半导体领域研发投入占比约为55.19%；光伏领域研发投入占比约为37.47%，投向包括TOPCon的持续提升及XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等下一代高效电池技术等项目。2023年一季度，微导纳米研发费用3052万元，研发费率高达40.27%，加速半导体及光伏领域的技术研发。